Производство полупроводников в настоящее время является одной из самых экстремальных отраслей промышленности с точки зрения требований к чистоте. Во-первых, поскольку ширина линии на чипе уменьшена до нанометрового уровня, любые мельчайшие частицы могут вызвать короткое замыкание или обрыв цепи, что требует сверхчистой производственной среды и продуктов полупроводниковой промышленности.
На заводах по производству полупроводников различные-химические вещества и газы высокой чистоты необходимо транспортировать к технологическому оборудованию по трубопроводам. К этим жидкостям относятся сверхчистая вода, травильный раствор, проявляющий раствор, кислотная-кислота-основы высокой чистоты и специальные газы.
EP-трубы из нержавеющей стали обеспечивают первоначальную высокую чистоту этих жидкостей во время транспортировки по трубопроводу благодаря сверхчистому процессу.
Причина, по которой EP-трубки могут выполнять эту задачу, заключается в их трех основных характеристиках:
1. Чрезвычайно гладкая внутренняя поверхность значительно снижает прилипание и скопление частиц.
2. Плотная пассивирующая пленка оксида хрома повышает коррозионную стойкость трубы и предотвращает загрязнение жидкости осаждением ионов металлов.
3. Поверхность трубы не имеет мертвых углов, что эффективно предотвращает задержку микробов, ее легко чистить и стерилизовать.
